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真空配管部品

真空配管部品株式会社エイエフティで取り扱っている真空配管部品の一覧です。
詳しい内容、特別な商品についてはお問い合せ下さい。
 

クランプ部品
クランプ（CLAMP）
クランプ（CLAMP）
クランプ
単位:mm
素材:AL
型番 Ａ Ｂ Ｃ Ｔ 型番 Ａ Ｂ Ｃ Ｔ
ACL16 45.0 22.0 61.0 18.0 ACL40 70.0 47.0 90.0 18.0
ACL25 55.0 32.0 72.0 18.0 ACL50 95.0 630. 123.0 26.0
センターリング
センターリング
センターリング
単位：mm
素材：SUS304
型番 Ａ Ｂ Ｃ Ｄ
ARC10 12.0 10.0 3.9 8.0
ACR16 17.0 16.0 3.9 80.
ARC25 26.0 25.0 3.9 8.0
ACR40 41.0 40.0 3.9 8.0
ACR50 52.0 50.0 3.9 8.0
ACR63 70.0 68.2 3.9 8.0
ACR80 82.4 80.0 4.0 12.0
ACR100 101.8 99.0 4.0 120.
Ｏリング座
Ｏリング座
Ｏリング座
単位：mm
材質：SUS304
呼び径 Ａ Ｂ Ｃ
AOZ10/16 30.0 16.0 230.
AOZ20/25 40.0 25.0 33.0
AOZ32/40 55.0 40.0 48.0
AOZ50 75.0 52.5 60.0
ショートフランジ
ショートフランジ
ショートフランジ
単位：mm
材質：SUS304
型番 Ａ Ｂ Ｃ Ｄ 型番 Ａ Ｂ Ｃ Ｄ
ASF10-L50 30.0 12.2 13.8 10.0 ASF-50-L50 75.0 52.2 60.5 55.0
ASF16-L50 30.0 17.2 21.7 17.5 ASF63-L50 87.0 70.2 76.3 70.2
ASF25-L50 40.0 26.2 27.2 23.0 ASF80-L50 114.0 83.0 98.0 89.1
ASF40-L50 55.0 41.2 42.7 37.1 ASF100-L50 134.0 102.0 118.0 114.3
ブランクフランジ
ブランクフランジ
ブランクフランジ
単位：mm
材質：SUS304
型番 A B C 型番 A B C
ABN10-L00 30.0 12.2 6.0 ABN50-L00 75.0 52.2 46.0
ABN16-L00 30.0 17.2 11.0 ABN63-L00 87.0 70.2 64.0
ABN25-L00 40.0 26.2 20.0 ABN80-L00 114.0 83.0 73.0
ABN40-L00 55.0 41.2 35.0 ABN100-L00 134.0 102.0 92.0
 
レジューサー
レジューサー 単位：mm
材質：SUS304
型番 A1 A2 B C L
ARN25-10 40.0 30.0 14.0 10.0 40.0
ARN25-16 40.0 30.0 20.0 16.0 40.0
ARN40-16 55.0 30.0 20.0 16.0 40.0
ARN40-25 55.0 40.0 28.0 24.0 40.0
ARN50-25 75.0 40.0 28.0 24.0 40.0
ARN50-40 75.0 55.0 44.0 39.0 40.0
ARN80-40 114.0 55.0 42.7 37.1 40.0
ARN100-50 134.0 75.0 60.5 55.0 40.0
エルボー
エルボー
エルボー
単位：mm
材質：SUS304
型番 A B C L 型番 A B C L
ALN10 30.0 13.8 10.0 40.0 ALN50 75.0 60.5 55.0 80.0
ALN16 30.0 21.7 16.0 40.0 ALN80 114.0 89.1 83.1 110.0
ALN25 40.0 27.2 23.0 50.0 ALN100 134.0 114.3 108.3 120.0
ALN40 55.0 42.7 37.1 65.0          
 
クロス
クロス 単位：mm
材質：SUS304
型番 A B C L
AXN10 30.0 13.8 10.0 40.0
AXN16 30.0 21.7 16.0 40.0
AXN20/25 40.0 27.2 23.0 50.0
AXN32/40 55.0 42.7 37.1 65.0
AXN50 75.0 60.5 55.0 80.0
AXN80 114.0 89.1 83.1 110.0
AXN100 134.0 114.3 108.3 120.0
ティ
ティー
ティー
単位：mm
材質：SUS304
型番 A B C L 型番 A B C L
ATN10 30.0 13.8 10.0 40.0 ATN50 75.0 60.5 55.0 80.0
ATN16 30.0 21.7 16.1 40.0 ATN80 114.0 89.1 83.1 110.0
ATN20/25 40.0 27.2 23.0 50.0 ATN100 134.0 114.3 108.3 120.0
ATN32/40 55.0 42.7 37.1 65.0          
ゲージポート
ゲージポート
ゲージポート 単位：mm
材質：SUS304
型式 φd φD H T φS φA
AGP15 15.0 40.0 55.0 15.0 13.0 25.0
AGP18 18.0 40.0 55.0 15.0 16.0 28.0

 

真空ベローズ（成型タイプ・溶接タイプ）
NWベローフランジ（両端ISO-KFフランジ付き）
NWベローフランジ（両端ISO-KFフランジ付き）

真空ベローズ 標準仕様
圧力:内側　真空、外側　大気
温度:<250度
Heリークレート:<1X10(-9乗)pa・立方m/sec
ベローズ:SUS316L
フランジ:SUS304
寿命:10.000


製品
コード 		フランジ
サイズ		 A B1 B0 板厚 面間
寸法
L		 作動
範囲
L		 バネ定数
S.C.:
N/mm		 有効面積
E.Area:
平方cm
AF K-010 KF 10 30 22.9 33.0 0.15 105 96〜111 9.8 6.2
AF K-016 KF 16 30 22.9 33.0 0.15 105 96〜111 9.8 6.2
AF K-025 KF 25 40 22.9 33.0 0.15 105 96〜111 9.8 6.2
AF K-040 KF 40 55 43.6 58.0 0.15 115 100〜130 5.9 20.1
AF K-050 KF 50 75 50.1 65.0 0.15 125 110〜140 5.9 26.0
AF K-063 KF 63 87 61.9 80.0 0.15 130 110〜140 5.9 39.5
AF K-080 KF 80 114 90.1 109.0 0.15 150 130〜170 5.9 77.8
AF K-100 KF100 134 106.3 125.0 0.15 150 130〜170 7.8 105.2

 

真空フレキチューブ（各種タイプ）
真空フレキシブルチューブ
NWフレキシブルチューブ（両端ISO-KFフランジ型）
真空フレキシブルチューブ標準仕様
長さ:500、10000、1500、2000
ベローズ:SUS316L
フランジ:SUS316
Heリークレート:<1X10(-9乗)pa･立方m/sec
特別な長さについてはご相談下さい
製品コード フランジサイズ I.D. O.D. D l 板厚 Min.
AT K-010 KF 10 15.0 19.4 30 20 0.15 30
AT K-016 KF 16 20.0 24.8 30 20 0.15 35
AT K-025 KF 25 25.4 31.5 40 20 0.20 60
AT K-040 KF 40 40.0 48.2 55 20 0.20 90
AT K-050 KF 50 50.0 59.0 75 20 0.20 120
AT K-080 KF 80 80.0 99.5 114 25 0.25 190
AT K-100 KF100 102.5 122.0 134 25 0.25 220


各種継手ＣＦ部分

ICF固定フランジ
ICF固定フランジ a b
パーツ断面図ａ パーツ断面図ｂ
c d
パーツ断面図ｃ パーツ断面図ｄ
e f g  
パーツ断面図ｅ パーツ断面図ｆ パーツ断面図ｇ  

サイズ一覧
型式 タイプ φA φB φC PCD T ｔ ｎ H 適用ガスケット 適用パイプ
ICF34-H a 34 メクラ *** 27.0 8 *** 6 4.4 ICF34G ***
ICF34-T b 34 メクラ *** 27.0 8 *** 6 M4 ***
ICF34-10.5H c 34 10.7 *** 27.0 8 *** 6 4.4 φ10.5×1.0t
ICF34-13.8H d 34 14.0 *** 27.0 8 *** 6 4.4 φ13.8×1.2t
ICF34-17.3H e 34 17.3 14.9 27.0 8 6 6 4.4 φ17.3×1.2t
ICF34-17.3T f 34 17.3 14.9 27.0 8 6 6 M4 φ17.3×1.2t
ICF70-H a 70 メクラ *** 58.7 13 *** 6 6.8 ICF70G ***
ICF70-T b 70 メクラ *** 58.7 13 *** 6 M6 ***
ICF70-21.7H c 70 22.0 19.7 58.7 13 5.3 6 6.8 φ21.7×1.65t
ICF70-27.2H c 70 27.5 25.2 58.7 13 5.3 6 6.8 φ27.2×1.65t
ICF70-34H c 70 34.3 32.0 58.7 13 5.3 6 6.8 φ34.0×1.65t
ICF114-H a 114 メクラ *** 92.1 18 *** 8 8.5 ICF114G ***
ICF114-T b 114 メクラ *** 92.1 18 *** 8 M8 ***
ICF114-42.7H c 114 43.0 40.7 92.1 18 7 8 8.5 φ42.7×1.65t
ICF114-48.6H c 114 48.9 46.6 92.1 18 7 8 8.5 φ48.6×1.65t
ICF114-60.5H c 114 60.8 58.5 92.1 18 7 8 8.5 φ60.5×1.65t
型式 タイプ φA φB φC PCD T ｔ ｎ H 適用ガスケット 適用パイプ
ICF152-H a 152 メクラ *** 130.2 21 *** 16 8.5 ICF152G ***
ICF152-T b 152 メクラ *** 130.2 21 *** 16 M8 ***
ICF152-76.3H c 152 76.7 73.8 130.2 21 7 16 8.5 φ76.3×2.1t
ICF152-89.1H c 152 89.5 86.6 130.2 21 7 16 8.5 φ89.1×2.1t
ICF152-101.6H c 152 102.0 99.1 130.2 21 7 16 8.5 φ101.6×2.1t
ICF203-H a 203 メクラ *** 181.0 22 *** 20 8.5 ICF203G ***
ICF203-T b 203 メクラ *** 181.0 22 *** 20 M8 ***
ICF203-114.3H c 203 114.8 111.8 181.0 22 12.7 20 8.5 φ114.3×2.1t
ICF203-139.8H c 203 140.3 136.5 181.0 22 12.7 20 8.5 φ139.8×2.8t
ICF253-H a 253 メクラ *** 231.8 25 *** 24 8.5 ICF253G ***
ICF253-T b 253 メクラ *** 231.8 25 *** 24 M8 ***
ICF253-165.2H c 253 165.7 161.9 231.8 25 13 24 8.5 φ165.2×2.8t
ICF305-H a 305 メクラ *** 284.0 28 *** 32 8.5 ICF305G ***
ICF305-T b 305 メクラ *** 284.0 28 *** 32 M8 ***
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